福建中晶科技有限公司

關(guān)于Nikon光刻機(jī)維修調(diào)試項(xiàng)目采購公告

一、項(xiàng)目名稱

福建中晶科技有限公司Nikon光刻機(jī)維修調(diào)試項(xiàng)目

二、服務(wù)要求說明

見附件

三、投標(biāo)有關(guān)事項(xiàng)及要求

1.必須響應(yīng)驗(yàn)收技術(shù)要求；

2.當(dāng)有下列情況之一發(fā)生時(shí)，將依廢標(biāo)處理：

2.1報(bào)價(jià)函有涂改的；

2.2修改原報(bào)價(jià)單報(bào)價(jià)明細(xì)的；

2.3投標(biāo)人不足三家的；

2.4本次采購項(xiàng)目報(bào)價(jià)最高限價(jià)為人民幣18萬元（含國家規(guī)定的增值稅稅費(fèi)）。高于最高限價(jià)的報(bào)價(jià)為無效報(bào)價(jià)，作廢標(biāo)處理。

四、投標(biāo)截止日期

投標(biāo)截止時(shí)間：即日起至2022年11月29日下午17:00（以收到參選材料時(shí)間為準(zhǔn)）。

五、報(bào)名方式、郵寄地址

參選材料須在規(guī)定的投標(biāo)截止期限前快遞或直接密封送達(dá)至我司。

郵寄地址：龍巖市永定區(qū)高陂鎮(zhèn)永定工業(yè)園區(qū)福建中晶科技有限公司

聯(lián)系人：吳女士

聯(lián)系電話：19906970336  （0597-3011820）

六、參選材料

1.營業(yè)執(zhí)照復(fù)印件（加蓋公章）；

2.法人身份證復(fù)印件（加蓋公章）；

3.報(bào)價(jià)函（加蓋公章）；

4.服務(wù)內(nèi)容與驗(yàn)收技術(shù)要求（加蓋公章）。

七、定標(biāo)方式

本次采購項(xiàng)目采用最低價(jià)中標(biāo)方式，即總報(bào)價(jià)最低單位為第一中標(biāo)人，相同報(bào)價(jià)時(shí)優(yōu)先選擇服務(wù)過本企業(yè)項(xiàng)目的投標(biāo)人。

八、注意事項(xiàng)

1.參選人在參與本次比選過程中須嚴(yán)格遵守國家有關(guān)法律法規(guī)、政策及廉潔從業(yè)的各項(xiàng)規(guī)定。

2.中標(biāo)人需在收到中標(biāo)通知書3個(gè)工作日內(nèi)與招標(biāo)方簽訂合同。

3.業(yè)務(wù)聯(lián)系人：鐘女士    

聯(lián)系電話：13600999797 

附件 

服務(wù)內(nèi)容與驗(yàn)收技術(shù)要求

一、設(shè)備編號(hào)、型號(hào)、數(shù)量

二、設(shè)備調(diào)試地點(diǎn)：

福建中晶科技有限公司廠內(nèi)。

三、交貨（工程）期限：

乙方向甲方承諾有技術(shù)、條件、人員及能力對甲方一臺(tái)Nikon i8光刻機(jī)進(jìn)行維修調(diào)試。在合同生效后乙方需在20天內(nèi)將甲方現(xiàn)場一臺(tái)i8光刻機(jī)維修調(diào)試完成并交付生產(chǎn)使用。

四、驗(yàn)收技術(shù)要求

1、硬件測試

2、招標(biāo)人提供條件：

本次維修調(diào)試投標(biāo)人包工包料，維修期間設(shè)備所需更換的所有配件，由投標(biāo)人負(fù)責(zé)購買及更換，招標(biāo)人只提供基本的水電等基本設(shè)施。

3、設(shè)備質(zhì)量要求及驗(yàn)收指標(biāo)：

投標(biāo)人的調(diào)試遵循設(shè)備原廠的設(shè)備運(yùn)行原理，在調(diào)試后應(yīng)恢復(fù)到最好性能和精度，滿足招標(biāo)人大規(guī)模、穩(wěn)定光刻生產(chǎn)的需求；設(shè)備的硬件及工藝問題，投標(biāo)人負(fù)責(zé)維修和調(diào)試。驗(yàn)收的方法為必須達(dá)到招標(biāo)人能大規(guī)模生產(chǎn)PSS工藝產(chǎn)品所需的工藝技術(shù)要求，選用Φ100.8mm標(biāo)準(zhǔn)藍(lán)寶石片進(jìn)行測試。投影光刻專用i線光刻膠，其中藍(lán)寶石TTV≤5,涂膠膜厚中心值在2.6±0.1μm范圍內(nèi)，膠厚均勻性≤2.0%。

驗(yàn)收指標(biāo)

1、曝光場尺寸8.5×8.5mm,以我司AOI為檢測標(biāo)準(zhǔn)做出的PSS光刻產(chǎn)品產(chǎn)出無格線或明暗場、無拼接錯(cuò)位；

2、曝光場尺寸8.5×8.5mm，產(chǎn)能≥525片/天。

3、在設(shè)備量產(chǎn)操作的情況下連續(xù)800片內(nèi)無任何非人為異常故障與失誤。

其他工藝條件：按i線光刻工藝及相關(guān)投影工藝而定。測定方法按行業(yè)通行的電鏡法或雙方認(rèn)可的其他方法進(jìn)行。