|
ews
電話：+86-0597-3011819
地址：福建省龍巖市永定區高陂鎮永定工業園區
福建中晶科技有限公司
關于Nikon光刻機維修調試項目采購公告
一、項目名稱
福建中晶科技有限公司Nikon光刻機維修調試項目
二、服務要求說明
見附件
三、投標有關事項及要求
1.必須響應驗收技術要求；
2.當有下列情況之一發生時，將依廢標處理：
2.1報價函有涂改的；
2.2修改原報價單報價明細的；
2.3投標人不足三家的；
2.4本次邀標報價最高限價為人民幣18萬元（含國家規定的增值稅稅費）。高于最高限價的報價為無效報價，作廢標處理。
四、報價截止日期
報價截止時間：即日起至2023年2月7日下午17:00（以收到報價函時間為準）
五、報名方式、郵寄地址
參選材料須在規定的投標截止期限前快遞或直接密封送達至我司。
郵寄地址：龍巖市永定區高陂鎮永定工業園區福建中晶科技有限公司
聯系人：吳女士
聯系電話：19906970336 （0597-3011820）
六、參選材料
1.營業執照復印件（加蓋公章）；
2.法人身份證復印件（加蓋公章）；
3.報價函（加蓋公章）；
4.服務內容與驗收技術要求（加蓋公章）。
七、定標方式
本次比選活動，采用最低價中標方式，即總報價最低單位為第一中標人，相同報價時優先選擇服務過本企業項目的投標人。
八、注意事項
1.參選人在參與本次比選過程中須嚴格遵守國家有關法律法規、政策及廉潔從業的各項規定。
2.中標人需在收到中標通知書3個工作日內與招標方簽訂合同。
3.業務聯系人：鐘女士
聯系電話：13600999797
附件
服務內容與驗收技術要求
一、設備編號、型號、數量
序號 | 設備編號 | 設備型號 | 數量 | 單位 |
1 | GKJ10 | i8 | 1 | 臺 |
二、設備調試地點：
福建中晶科技有限公司廠內。
三、交貨（工程）期限：
乙方向甲方承諾有技術、條件、人員及能力對甲方一臺Nikon i8光刻機進行維修調試。在合同生效后乙方需在20天內將甲方現場一臺i8光刻機維修調試完成并交付生產使用。
四、驗收技術要求
1、硬件測試
No. | Acceptance Item | Specifications | 響應與否 | 偏離情況 |
1 | 分辨率（Resolution） | 0.55um um L&S (At best Focus) | ||
2 | 焦深（DOF） | 0.6umDOF /10%CD variation | ||
3 | 曝光強度 （Exposure Power） | 500mW/cm2 or More (flash) | ||
5 | 照明均勻性 （Illumination Uniformity） | Within ±2.0% | ||
6 | 工作臺步進精度 （Stepping Precision） | 3σ≤90nm | ||
7 | 掩膜旋轉(Reticle Rotation) | |M|+3σ≤20nm | ||
8 | 可靠性：Operational Test Reticle System | Success rate:100% | ||
9 | 可靠性：Operational Test Wafer System | Success rate:99% | ||
10 | wafer flatness（Max-Min） | <20 （1/10micron） | ||
11 | 平整度：Chip leveling accuracy | Within +/-1.5sec | ||
12 | 直交度：Array orthogonality | 以產品shot拼接為準 | ||
13 | 鏡頭畸變:Lens distortion | Within +/-90nm |
2、招標人提供條件：
本次維修調試投標人包工包料，維修期間設備所需更換的所有配件，由投標人負責購買及更換，招標人只提供基本的水電等基本設施。
3、設備質量要求及驗收指標：
投標人的調試遵循設備原廠的設備運行原理，在調試后應恢復到最好性能和精度，滿足招標人大規模、穩定光刻生產的需求；設備的硬件及工藝問題，投標人負責維修和調試。驗收的方法為必須達到招標人能大規模生產PSS工藝產品所需的工藝技術要求，選用Φ100.8mm標準藍寶石片進行測試。投影光刻專用i線光刻膠，其中藍寶石TTV≤5,涂膠膜厚中心值在2.6±0.1μm范圍內，膠厚均勻性≤2.0%。曝光場尺寸8.5×8.5mm,以我司AOI為檢測標準做出的PSS光刻產品產出無格線或明暗場、無拼接錯位；產能要求：曝光場尺寸8.5×8.5mm產能≥550片/天。在設備量產操作的情況下連續800片內無任何非人為異常故障與失誤。
其他工藝條件：按i線光刻工藝及相關投影工藝而定。測定方法按行業通行的電鏡法或雙方認可的其他方法進行。
